1. 设备名称：自动溅射镀膜机

2. 设备型号：JT-3600

3. 设备概要

自动溅射镀膜机适用于Cr薄膜及Ag薄膜,该设备主要由夹具周转仓、加热室和溅射镀膜室3部分组成。该机可用于晶体生产过程中的镀膜工序。利用直线往复送料系统将镀膜夹具送到溅射工位，采用磁控溅射方式进行镀膜。其主要优点是膜层牢固性好，膜厚均匀，生产效率高。

溅射镀膜机 JT-3600 软件系统由系统维护、溅射参数、系统参数、自动运行、低温泵再生、待机等几大功能模块组成。系统维护主要应用于系统的测试、维修和故障排除，如对各个控制阀的控制、运动执行机构的动作验证、流量计的控制验证等等。系统参数用于设置自动溅射镀膜过程中相关的参数，溅射参数用于设定溅射时夹具的运行速度，自动运行用于自动溅射等等。系统操作支持触摸屏、键盘和鼠标。

3.设备主要性能指标

3.1 真空压力

(1) 加热室 1.0x10－3Pa以下

(2) 溅镀室 1.0x10－3Pa以下

注:上述数据均为在真空室内充分排气后,并于常温空载条件下测得的数据.

3.2 排气时间

(1) 加热室 至1.2x10-2Pa约4分钟

(2) 溅镀室 至1.2x10－2Pa约10分钟

注:上述数据均为在真空室内充分排气后,并于常温空载条件下测得的数据.

3.3 夹具加热温度

加热室 最大150℃

3.4 适用靶材 Ag,Cr

3.5 膜厚 Ag;1500Å (单面)

(φ8.9AT切角,4.5MHz时ΔF＝10KHz)

注: 膜厚、功率、夹具移送速度的关系表另行提供。

3.6 膜厚分布

(1) 托盘内分布 ±2%

(2) 托盘间分布 ±3%

以上数据为靶材中心至上下方向±49mm范围内测试所得。

(3) 测试条件

1) 托盘内8处测试。

2)测试频率变化量。

3)膜厚分布用平均值的范围来计算。

4)两面同时溅射镀膜。

3.7 夹具的移动速度

(1) 溅射时的移送速度 100～1000mm/min

(2) 其他各室的速度 约1000mm/min

3.8 气体流量

溅射室 Ar;最大100SCCM

3.9 溅镀周期

除第一盘以外，一枚托盘往返一次约4分钟/一个溅镀周期。

注: 4分钟溅镀周期的条件设置:

移送速度 约410mm/min

溅射功率 550V-1.0A

晶片尺寸 φ8.9AT切角20MHz

膜厚 单面1500Å(ΔF＝10KHz)

3.10 生产能力

500*3=1500片/周期（4分钟）

（注：3225产品，每托盘3片夹具，每夹具500片）

5.外部必要条件

5.1 安装面积

主机部分 约W2500xD1100xH1850 (不含三色灯)

DC电源箱 约W640xD700xH1850

5.2 所需电力

设备主机 380V 3Ø 50Hz 约15KVA

5.3 所需水量

(1) 水压: 0.2～0.3Mpa

(2) 压差: 0.2Mpa

(3) 水温: 20～25℃

(4) 流量: 约2.4m³/h

5.4 所需压缩空气 0.5Mpa以上

5.5 N2气体 0.2Mpa

5.6 Ar气体 0.05Mpa

5.7 重量: 总重约 2800 Kg 主机体 约2200 Kg

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